一种石墨隔热装置及具有石墨隔热装置的CVD反应器

摘要

本实用新型提供了一种石墨隔热装置及具有石墨隔热装置的CVD反应器，石墨隔热装置包括石墨内筒，石墨内筒包括两组以上的层级结构，每组层级结构包括两个以上的石墨本体，所述石墨本体的上端设有第一榫眼结构，下端设有第一榫头结构，石墨本体的两侧壁分别设有第二榫眼结构以及第二榫头结构；左右相邻的石墨本体通过首尾相连榫接形成层级结构，层级结构之间通过上下相邻的石墨本体榫接。所述石墨本体具有相互配合的斜度。所述石墨内筒可通过石墨螺钉固定在需要隔热的反应器的壳体上。所述榫头结构和榫眼结构为梯形、三角形、楔形、半圆形或W形。

主权项

一种石墨隔热装置，其特征在于，包括石墨内筒(4)，石墨内筒(4)包括两组以上的层级结构，每组层级结构包括两个以上的石墨本体(1)，所述石墨本体(1)的上端设有第一榫眼结构(3)，下端设有第一榫头结构(2)，石墨本体(1)的两侧壁分别设有第二榫眼结构(6)以及第二榫头结构(5)；左右相邻的石墨本体(1)通过首尾相连榫接形成层级结构，层级结构之间通过上下相邻的石墨本体(1)榫接。