| 摘要 |
可使抗蚀液过滤之滤器14的前后之压力变动变小。其具备有：可贮存抗蚀液之填充液槽2；及，使藉供给泵10自此一填充液槽2送出之抗蚀液输送至填充喷嘴8的填充液通路4；及，自填充液通路4途中之分歧部18分歧连通至填充液槽2之回收通路16；及，被设在比填充液通路4的分歧部18之更下流侧（填充液通路4之下流部4B）的填充阀12；及，设在回收通路16之回收阀20；及，被设在前述泵10和分歧部18间之滤器14；及，各别可使填充阀12及回收阀20驱动之伺服马达；及，可控制伺服马达而调整填充阀12与回收阀20的开口度之控制装置24；而控制回收阀20的开口度使得滤器14之上流侧和下流侧的压力不会变动。 |
