发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION INSTALLATION
摘要
申请公布号 KR100914739(B1) 申请公布日期 2009.08.31
申请号 KR20070079586 申请日期 2007.08.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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