Halbleiterbauelement mit einem Kondensator im Metallisierungssystem und ein Verfahren zur Herstellung des Kondensators

摘要

Durch Herstellen von Metallkondensatoren in den Metallisierungsstrukturen von Halbleiterbauelementen können komplexe Fertigungssequenzen in der Bauteilebene vermieden werden. Der Prozess der Herstellung der Metallkondensatoren kann auf der Grundlage gut etablierter Strukturierungsschemata moderner Metallisierungssysteme durchgeführt werden, indem geeignet ausgewählte Stoppmaterialien verwendet werden, die ein hohes Maß an Kompatibilität mit der Herstellung von Kontaktlochöffnungen in einer Metallisierungsschicht bieten, wobei ein Kondensatordielektrikum mit einer gewünschten hohen Dielektrizitätskonstante im Kondensator bereitgestellt wird.