一种用于气浮位移台的气垫驱动装置

摘要

本发明属于精密机械技术，涉及对气浮位移台驱动装置的改进。它包括一个由小车1、金属导轨2和小车驱动机构组成的传动机构，其特征在于，小车1位于移动工作台6的内腔中，有两个挡板7和两个气垫9，小车1上沿运动方向的前后两端与移动工作台6内腔的端面8之间各安装有一个气垫9和一个挡板7。本发明的成本低，运动灵敏度较高；驱动装置的运动误差不会影响工作台的运动精度。

主权项

1、一种用于气浮位移台的气垫驱动装置，包括一个由小车[1]、金属导轨[2]和小车驱动机构组成的传动机构，金属导轨[2]安装在花岗岩导轨[4]上，有一个通过气垫[5]支撑在花岗岩导轨[4]上的移动工作台[6]，所说的小车驱动机构为下述结构之一：a、由固定在小车[1]上的驱动电机[3]组成；b、由固定在小车[1]上的螺母和固定在花岗岩导轨[4]上的丝杠组成；c、由固定在小车[1]上的轴承和固定在花岗岩导轨[4]上的光杠组成；d、由钢带或者钢丝绳传动机构组成；其特征在于，小车[1]位于移动工作台[6]的内腔中，有两个挡板[7]和两个气垫[9]，小车[1]上沿运动方向的前后两端与移动工作台[6]内腔的端面[8]之间各安装有一个气垫[9]和一个挡板[7]，其安装结构为下述情况之一：(1)在小车[1]上沿运动方向的前后两端各固定一个挡板[7]，挡板[7]所在平面与小车[1]的运动方向垂直，气垫[9]的底座固定在移动工作台[6]内腔两端的端面[8]上，气垫[9]的气垫板与挡板[7]相对，其间隙为10μm～20μm；(2)在移动工作台[6]内腔两端的端面[8]上各固定一个挡板[7]，挡板[7]所在平面与小车[1]的运动方向垂直，气垫[9]的底座固定在小车[1]的两端，气垫[9]的气垫板与挡板[7]相对，其间隙为10μm～20μm。