发明名称 VAPORIZER AND SEMICONDUCTOR PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1630859(A4) 申请公布日期 2009.08.26
申请号 EP20040732201 申请日期 2004.05.11
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 IIZUKA, HACHISHIRO
分类号 H01L21/31;C23C16/448;F03D11/04;H01L21/00 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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