发明名称 |
可实施老化与电性测试的晶圆及其实施方法 |
摘要 |
一种可实施老化与电性测试的晶圆(wafer)及其实施方法,此晶圆包括第一裸晶(die)、切割道(scribe line)、第一老化图案生成电路(aging patterngeneration circuit)与电极垫(pad)。切割道形成于第一裸晶之外的晶圆上,而第一老化图案生成电路用以对第一裸晶进行老化(aging)测试。电极垫设置于切割道上并与第一老化图案生成电路电性连接,电极垫用以与一电压源电性连接。本发明改变现有于封装后才进行老化测试的过程,于晶圆上即同时进行老化与电性测试,可大幅提高效率,并节省原料成本耗费。 |
申请公布号 |
CN100533163C |
申请公布日期 |
2009.08.26 |
申请号 |
CN200510008164.X |
申请日期 |
2005.02.08 |
申请人 |
奇景光电股份有限公司 |
发明人 |
陈英烈;卜令楷;吴宗佑;陈俊荣 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陈 亮 |
主权项 |
1. 一种晶圆,包括:一第一裸晶;一切割道,形成于该第一裸晶之外的该晶圆上;一第一老化图案生成电路,形成于该切割道上,该第一老化图案生成电路用以对该第一裸晶进行老化测试;以及一电极垫,设置于该切割道上并与该第一老化图案生成电路电性连接,该电极垫用以与一电压源电性连接。 |
地址 |
台湾省台南县新化镇中山路605号10楼 |