| 发明名称 | 包含功能构造体的功能器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 在具有收容功能构造体的空洞部的功能器件中，通过降低覆盖空洞部的被覆部的变形，减轻动作不良、器件特性的偏差等问题。本发明的功能器件具备基板(11)、形成于该基板上的功能构造体(13A、15A)、配置有该功能构造体的空洞部(C)、和被覆该空洞部的被覆部D(19A、22)，所述功能器件的特征在于，所述被覆部D(19A、22)具有包括肋状部(19b)或槽状部(19c)的凹凸构造，其中，所述肋状部(19b)或槽状部(19c)至少横穿覆盖所述空洞部的被覆范围(20C)。 | ||
| 申请公布号 | CN101513989A | 申请公布日期 | 2009.08.26 |
| 申请号 | CN200910001451.6 | 申请日期 | 2009.01.09 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 稻叶正吾 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄纶伟 |
| 主权项 | 1.一种功能器件，具备基板、形成于该基板上的功能构造体、配置有该功能构造体的空洞部、和被覆该空洞部的被覆部，所述功能器件的特征在于，所述被覆部具有包括肋状部或槽状部的凹凸构造，其中，所述肋状部或槽状部至少横穿覆盖所述空洞部的被覆范围。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||