一种薄膜型热电转换器及测量方法

摘要

本发明公开了一种薄膜型热电转换器及测量方法，涉及电学计量技术，包括以硅片为衬底，利用低压化学气相外延方法在衬底上生长的SiO₂-Si₃N₄-SiO₂三层薄膜夹层结构，多次磁控溅射不同材料以及多次光刻、腐蚀制备的热偶、加热器和接触电极；其中，两个加热器并排放置在一个热偶的两侧。本发明的薄膜型热电转换器，测量时，使交流和直流同时分别流过两个加热器，在热偶上输出交流、直流电功率导致的温度差，直接比较交流与直流电功率，使环境温度和温度梯度的变化对测量结果影响大大降低。

主权项

1、一种薄膜型热电转换器，包括衬底、热偶堆、加热器和接触电极；其特征在于，硅片衬底为双面抛光，在衬底的背面有一深槽；在衬底的正面覆盖有SiO2-Si3N4-SiO2三层薄膜夹层结构；在深槽所对应的硅片衬底正面区域内，于三层薄膜夹层结构上，一个热偶堆位于纵向中心，其两脚上下伸出对应的正面区域外，各设有一接触电极；热偶堆两脚的交汇处是热偶堆的温度探头；两个加热器并排纵向分别放置在热偶堆的两侧，两个加热器为U型，U型的两端头伸出对应的正面区域外，在端头处各设有交流或直流电压输入的接触电极；在热偶堆和加热器之上，衬底正面覆有一层SiO2薄膜。