| 发明名称 | 间隙调整装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭露了一种间隙调整装置，利用承接套来避免温度感测件于间隙调整过程中出现错位，且利用位移感测器来确定调节临界点，避免了温度感测件顶动晶圆托盘而造成位置误差。该间隙调整装置包括：调节机构与连接于其上的移动载台，且该调节机构为移动载台提供移动所需的动力；承接套，固定于移动载台上，其承接温度感测件的底端，从而于移动载台移动时带动温度感测件移动；位移感测器，固定于移动载台上，以感测并显示温度感测件的位移，其中该位移感测器的感测端位于承接套内。利用此间隙调整装置调整温度感测件与晶圆托盘之间的间隙时，易于保证位置精确度，进而每次更换温度感测件后具有较好的再现性。 | ||
| 申请公布号 | CN201298539Y | 申请公布日期 | 2009.08.26 |
| 申请号 | CN200820155224.X | 申请日期 | 2008.11.11 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王刚;狄宝山;高文良;李瑞秋 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;G05D3/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1. 一种间隙调整装置，用以固定在温度感测件所在的机台上，以实现对所述温度感测件位置的调整，其特征是，包括：调节机构与连接于其上的移动载台，且该调节机构为移动载台提供移动所需的动力；承接套，固定于所述移动载台上，其承接所述温度感测件的底端，从而于移动载台移动时带动所述温度感测件移动；位移感测器，固定于所述移动载台上，以感测并显示温度感测件的位移，其中该位移感测器的感测端位于所述承接套内。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||