发明名称 |
散热装置及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种散热装置,其包括铜基座,形成于该铜基座上的扩散障层,形成于该扩散障层上的催化剂层,形成于该催化剂层上的碳纳米管;所述扩散障层为钛钨层或氮化钛钨层。本发明还提供上述散热装置的制备方法,其包括:提供一铜基座;于该铜基座上形成一钛钨层或氮化钛钨层;在所述钛钨层或氮化钛钨层上形成一催化剂层;在所述催化剂层上长出碳纳米管。 |
申请公布号 |
CN100530615C |
申请公布日期 |
2009.08.19 |
申请号 |
CN200410052436.1 |
申请日期 |
2004.11.24 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
颜士杰 |
分类号 |
H01L23/36(2006.01)I;H05K7/20(2006.01)I;H01L23/373(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/36(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种散热装置,其包括一具有相对二表面的铜基座、形成于所述铜基座一表面的扩散障层、形成于所述扩散障层上的催化剂层以及形成于该催化剂层上的多个碳纳米管;其特征在于,所述扩散障层为钛钨层或氮化钛钨层。 |
地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |