| 发明名称 | 隧道结生物传感器加工工艺及使用该工艺制做的传感器 | ||
| 摘要 | 本发明为隧道结生物传感器加工工艺及使用该工艺制做的传感器。该工艺简单，降低了成本，通过该工艺制做的传感器，能够增强检测信号的强度。其包括自旋阀式的隧道结传感器，其特征在于：所述隧道结传感器上表面通过喷涂工艺覆盖有生物保护层，所述生物保护层材质为聚二甲基硅氧烷，所述生物保护层的厚度小于100nm。 | ||
| 申请公布号 | CN101509890A | 申请公布日期 | 2009.08.19 |
| 申请号 | CN200910030264.0 | 申请日期 | 2009.03.24 |
| 申请人 | 无锡市纳微电子有限公司 | 发明人 | 王磊 |
| 分类号 | G01N27/414(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/414(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 顾吉云 |
| 主权项 | 1、隧道结生物传感器加工工艺，其包括自旋阀式的隧道结传感器，其特征在于：所述隧道结传感器上表面通过喷涂工艺覆盖有生物保护层，所述生物保护层材质为聚二甲基硅氧烷，所述生物保护层的厚度小于100nm。 | ||
| 地址 | 214028江苏省无锡市新区长江路7号 | ||