气磁混合悬浮型六自由度平面电机

摘要

一种气磁混合悬浮型六自由度平面电机，包括沿水平XY平面安放的定子基体及浮于定子基体上且与定子基体平行的动子基体，定子基体上表面四角分别有第一永磁阵列、第二永磁阵列、第三永磁阵列、第四永磁阵列，第一永磁阵列和第三永磁阵列的波长方向与X轴同向，第二永磁阵列和第四永磁阵列的波长方向与Y轴同向；动子基体的下表面四角分别设有第一推力绕组、第二推力绕组、第三推力绕组、第四推力绕组，其中，第一推力绕组和第三推力绕组的波长方向与X轴同向，第二推力绕组和第四推力绕组的波长方向与Y轴同向，动子基体的下表面四边分别设有第一气体静压轴承气垫、第二气体静压轴承气垫、第三气体静压轴承气垫、第四气体静压轴承气垫。

主权项

1. 一种气磁混合悬浮型六自由度平面电机，包括沿水平XY平面安放的定子基体(1)以及浮于定子基体(1)上且与定子基体(1)平行的动子基体(2)，其特征在于，定子基体(1)上表面四角分别嵌有第一Halbach永磁阵列(11)、第二Halbach永磁阵列(12)、第三Halbach永磁阵列(13)、第四Halbach永磁阵列(14)，其中，第一Halbach永磁阵列(11)和第三Halbach永磁阵列(13)的波长方向与X轴同向，第二Halbach永磁阵列(12)和第四Halbach永磁阵列(14)的波长方向与Y轴同向，动子基体(2)的下表面四角分别设有第一推力绕组(21)、第二推力绕组(22)、第三推力绕组(23)、第四推力绕组(24)，其中，第一推力绕组(21)和第三推力绕组(23)的波长方向与X轴同向，第二推力绕组(22)和第四推力绕组(24)的波长方向与Y轴同向，动子基体(2)的下表面四边分别设有第一气体静压轴承气垫(25)、第二气体静压轴承气垫(26)、第三气体静压轴承气垫(27)、第四气体静压轴承气垫(28)。