| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM GERICHTETEN TRANSPORT VON CHIPS AUF EINE ZIELPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT504776(A3) |
申请公布日期 |
2009.08.15 |
| 申请号 |
AT20080000115 |
申请日期 |
2008.01.25 |
| 申请人 |
GESIM GESELLSCHAFT FUER SILIZIUM-MIKROSYSTEME MBH |
发明人 |
WEGENER THOMAS;BUERGER MARIO |
| 分类号 |
H01L21/58;H01L21/98;H05K13/02 |
主分类号 |
H01L21/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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