发明名称 用于制造丝网印刷模版的曝光装置
摘要 本发明涉及一种用于制造丝网印刷模版(5)的曝光装置,具有用于丝网印刷模版(5)的支架(4),以及曝光系统,该曝光系统具有至少一个产生光线的光源和在曝光头(9)中的镜组。此外设有输出数字信号的信号源(计算机),其与曝光系统以这样一种方式连接,即整个丝网印刷模版(5)可以对应于信号曝光。此外曝光头(9)相对于丝网印刷模版(5)是可运动的。优选地,光源由数量为n的、在300-450nm波长范围中工作的同类型的激光二极管组成,其中各组激光二极管设置在模块(12)中。在曝光单元处通常设有多个这样的模块(12)。激光二极管可由信号源的信号控制。将激光二极管的光信号通过数量同样为n的光导纤维引导至在曝光头(9)中的光栅板。该光栅板的光输出被导向至在波长范围方面适合于激光二极管的、在曝光头(9)中的聚焦镜组(10)。
申请公布号 CN101506738A 申请公布日期 2009.08.12
申请号 CN200780031537.2 申请日期 2007.08.23
申请人 XPOSE控股有限公司 发明人 彼得·贝尔纳
分类号 G03F7/20(2006.01)I;G03F7/12(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 章社杲;李 慧
主权项 1. 一种用于制造丝网印刷模版(5)的曝光装置,所述曝光装置具有:用于所述丝网印刷模版(5)的支架(4);曝光系统,所述曝光系统具有至少一个产生光线的光源和在曝光头(9)中的镜组;此外还具有输出数字信号的信号源,所述信号源与所述曝光系统以这样一种方式连接,即整个所述丝网印刷模版(5)可以对应于这些信号曝光,其中所述曝光头(9)相对于所述丝网印刷模版(5)是可运动的,其特征在于,所述光源具有数量为n的、在300-450nm波长范围中工作的同类型的激光二极管,所述激光二极管可由所述信号源的这些信号控制,所述激光二极管的光信号通过数量同样为n的光导纤维引导至在所述曝光头(9)中的光栅板,以及所述光栅板的光输出被导向至在所述波长范围方面适合于所述激光二极管的、在所述曝光头(9)中的聚焦镜组(10)。
地址 瑞士鲁特威勒