| 发明名称 |
DATA PREPARING METHOD FOR 3-D LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10202756(A) |
申请公布日期 |
1998.08.04 |
| 申请号 |
JP19970014125 |
申请日期 |
1997.01.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD |
发明人 |
YOKOMICHI MASATO;KASHIWAGI MASANORI |
| 分类号 |
B29C67/00;(IPC1-7):B29C67/00 |
主分类号 |
B29C67/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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