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发明名称 Method for forming amorphous carbon film
摘要
申请公布号 EP1741801(B1) 申请公布日期 2009.08.12
申请号 EP20060011694 申请日期 2006.06.06
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO 发明人 YAMAMOTO, KENJI
分类号 C23C14/06;C23C14/35 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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