内凹型栅控阵列结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种内凹型栅控阵列结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及内凹型栅控阵列结构；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步降低栅极结构的工作电压，增强栅极的控制功能和控制效率，有利于进一步提高整体器件的显示亮度和显示图像质量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种内凹型栅控阵列结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板(1)、阳极玻璃面板(9)和四周玻璃围框(14)所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层(10)以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层(12)；在阳极导电层的非显示区域印刷的绝缘浆料层(11)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构(13)以及消气剂附属元件(15)，其特征在于：在阴极玻璃面板上有阴极导电层(4)、碳纳米管(8)以及内凹型栅控阵列结构；所述的内凹型栅控阵列结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的刻蚀后的电极层形成阴极引线层；阴极玻璃面板上的刻蚀后的掺杂多晶硅层形成阴极提升层；阴极提升层位于阴极引线层的上面，且和阴极引线层紧密接触；位于同一个阴极引线层上面的阴极提升层是通过底部的阴极引线层而相互连通的；阴极提升层为尖角棱椎型形状，底部和阴极引线层接触，最高处汇聚成一个尖点，但其高度要低于栅极导电层的高度；阴极提升层表面上的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层布满阴极提升层的整体上表面；阴极玻璃面板上面的刻蚀后的二氧化硅层形成隔离层；隔离层要完全覆盖住阴极引线层；隔离层中存在电子通道孔，为圆型形状，暴露出底部的阴极提升层和阴极导电层；隔离层的上下表面均为平面，下表面覆盖住阴极引线层以及空余的阴极玻璃面板，上表面和栅极导电层紧密接触，位于电子通道孔中的隔离层侧面也是一个垂直于阴极玻璃面板的圆柱面，即电子通道孔是一个圆柱型形状；隔离层上面的刻蚀后的金属层形成栅极导电层；栅极导电层的大部分都位于隔离层的上面，但是其前端部分要伸向电子通道孔的中心部位，呈现一种悬空状态；栅极导电层的前端悬空部分以及位于隔离层上面的部分的高度是相同的；栅极导电层前端悬空部分的侧面呈现一个向内凹陷的半球型形状，整体栅极导电层前端悬空部分的侧面在电子通道孔中形成一个内凹型圆环结构；栅极导电层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极导电层的上表面，包括前端悬空部分；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。