带有集成化圆环状双阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明特别涉及一种带有集成化圆环状双阴极阵列结构的平面显示器件及其制作工艺，包括由阴极面板、阳极面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔、用于控制电子发射的栅极以及生长的碳纳米管阴极、在阳极面板上有光刻的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层、支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极面板上制作有将栅极和阴极集成到一起的集成化圆环状双阴极阵列结构，将栅极和阴极高度集成化到一起，提高了器件的电子发射效率，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种带有集成化圆环状双阴极阵列结构的平板显示器，包括由阴极面板[9]、阳极面板[11]和四周玻璃围框[10]所构成的密封真空腔、在阳极面板[11]上有光刻的阳极导电层[12]以及制备在阳极导电层[12]上面的荧光粉层[14]、阴极面板[9]和阳极面板[11]之间的支撑墙结构[16]以及消气剂附属元件[15]，其特征在于：在阴极面板[9]上安装固定有将栅极和阴极集成到一起的集成化圆环状双阴极阵列结构，圆环状阴极分别位于圆环状栅极的内部和外部，其电子发射受到栅极结构的控制；集成化圆环状双阴极阵列结构包括衬底材料[1]、存在于衬底材料下表面的阴极导电层[2]、阴极导电层[2]上的阴极覆盖层[3]、存在于衬底材料上表面的绝缘隔离层[4]，对绝缘隔离层[4]进行刻蚀，刻蚀后的绝缘隔离层的形状为圆环状，圆环中间暴露出下面的衬底材料，圆环外部为两个半圆环状，两个半圆环状部分暴露出底部的衬底材料，在绝缘隔离层[4]的上面蒸镀有栅极导电层[5]，在栅极导电层[5]覆盖有栅极覆盖层[6]，在暴露的衬底材料上表面蒸镀有催化剂金属层[7]，在催化剂金属层[7]上制备有碳纳米管阴极[8]。