低压微位移驱动电路及控制方法

摘要

本发明提供一种由压电陶瓷低电压区构成的低电压微位移驱动电路及控制方法。电路由微控制器MCU、数模转换器D/A、一级运放A1、二级运放A2、三级运放A3及压电陶瓷PZT构成；其控制方法如下：设定相位差设置值→设定压电陶瓷控制电压初值→驱动压电陶瓷伸缩→推动干涉显微镜镜筒→产生不同相位干涉图→将图象变为数字信号→算出相位差→实测值与设置值比较→根据差值修正压电陶瓷控制电压值，实测值与设置值之间小于允许误差结束调整。本发明使光电轮廓仪具有重量轻、体积小、精度高、造价低、性能全的优点，成为纳米级精确测量物体轮廓及表面粗糙度的新型仪器。

主权项

1. 一种低电压微位移驱动电路，其特征是：由微控制器(MCU)、数模转换器(D/A)、一级运放(A1)、二级运放(A2)、三级运放(A3)及压电陶瓷(PZT)构成；其中微控制器(MCU)输出端与数模转换器(D/A)输入端连接，数模转换器(D/A)的输出端(V0)与一级运放(A1)的负输入端(-)连接，一级运放(A1)的输出端与二级运放(A2)的负输入端(-)连接，二级运放(A2)的输出端与三级运放(A3)的正输入端(+)连接，数模转换器(D/A)接地端(7)、一级运放(A1)和二级运放(A2)的正输入端(+)及三级运放(A3)的电阻R1、压电陶瓷(PZT)负输入端(V-)接地；三级运放(A3)的负输入端(-)与电阻R1和电位器(W)活动端连接，其输出端和电阻R2、电位器(W)的固定端、压电陶瓷(PZT)正输入端(V+)连接；其中微控制器(MCU)的输入端与计算机PC连接、压电陶瓷(PZT)的位移面与干涉显微镜的钢球接触。