薄膜压电谐振器及其制造方法

摘要

提供一种薄膜压电谐振器及其制造方法，电气机械耦合系数k_t²和Q值同时增大，并且下部电极的膜厚控制容易。薄膜压电谐振器包括：基板(11)；下部电极(14)，面对该基板(11)一部分为空心状态并被机械地保持；压电体(15)，配置在下部电极(14)上，以使其在平面图形上，在自身占有的区域的内部包含所有下部电极(14)；上部电极(16)，在该压电体(15)上；中继电极(13)，在基板(11)和压电体(15)之间，在平面图形上，位于压电体(15)的占有区域的边界，并且在占有区域的内部与下部电极(14)连接；以及下部电极布线(17)，从占有区域的边界延长到外部，连接到中继电极(13)。

主权项

1. 一种薄膜压电谐振器，其特征在于包括：基板，包括空腔；下部电极，面对该基板，在所述空腔之上，所述下部电极的一部分被保持在所述基板上；压电体，配置在所述下部电极上，以使其在以平面看的图形上，在自身占有的区域的内部包含所有所述下部电极；上部电极，在该压电体上；中继电极，在所述基板和所述压电体之间，在以平面看的图形上，该中继电极的一部分位于所述压电体的占有区域的边界，并且在所述占有区域的内部与所述下部电极连接；以及下部电极布线，从所述占有区域的边界延长到外部，并且连接到所述中继电极；所述薄膜压电谐振器利用所述压电体的厚度方向的体振动。