| 摘要 |
1. Сканирующий зондовый микроскоп с контролируемой средой измерения, содержащий платформу, на которой установлен измерительный модуль, включающий захват зонда с зондом, оптически сопряженным с источником излучения и фотоприемником, блок предварительного сближения с приводом, передаточным механизмом и подвижным элементом, сопряженным с держателем образца с образцом, а также сканирующий модуль, отличающийся тем, что в него введены модульный блок откачки, сопряженный с платформой, герметичный кожух с, по меньшей мере, одним оптически прозрачным окном, имеющим возможность вакуумно-плотной установки на платформу и герметизации измерительного модуля, а также блок вакуумизации, установленный на платформе с возможностью подвижки и оптически сопряженный, по меньшей мере, посредством одного оптически прозрачного окна с зондом, при этом платформа имеет замкнутую вакуумно-плотную полость, в которой расположены подвижный элемент с держателем образца, захват зонда снабжен пьезомодулем, а на платформе установлен ориентатор, сопряженный с герметичным кожухом. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сканирующий модуль сопряжен с подвижным элементом посредством двухкоординатного позиционера и содержит держатель образца с образцом. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что привод размещен вне замкнутой вакуумно-плотной полости и сопряжен с передаточным механизмом посредством уплотнения. ! 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено средствами напуска газа, состыкованными с герметичным кожухом и(или) замкнутой вакуумно-плотной полостью платформы. ! 5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сканирующий м |
