表面发射半导体激光器及其制造方法

摘要

一种表面发射半导体激光器包括：衬底、衬底上的半导体层叠层、在叠层上形成并具有激光发射窗的台体，和至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜，该台体的外围部分由叠层形成。绝缘膜的末端被设置得比衬底的截断端更靠内。

主权项

1. 一种表面发射半导体激光器，该激光器包括：衬底；衬底上的半导体层叠层；在该叠层上形成的并且具有激光发射窗的台体；至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜，该台体的外围部分由叠层形成并形成在衬底上，以及在绝缘膜上形成的电极焊盘，该电极焊盘形成在绝缘膜上并通过引出互连与台体相连接；该位于台体的外围部分上的绝缘膜的末端比衬底的切割表面更靠内，其中所述的绝缘膜末端的形状与台体的外形、电极焊盘及引出互连相对应，并且所述的绝缘膜具有一个切口部分以围绕台体的外围。