| 发明名称 | AI-Ni-稀土类元素合金溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所产生的翘曲(变形)，并能够高精度、高效率地制造靶，而且可以进行稳定的成膜作业的Al-Ni-稀土类元素合金溅射靶。是一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上的化合物存在5.0×10<sup>4</sup>个/mm<sup>2</sup>以上。 | ||
| 申请公布号 | CN100523279C | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200610009203.2 | 申请日期 | 2006.02.15 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研 | 发明人 | 钉宫敏洋;高木胜寿;松崎均;喜多下幸太郎;米田阳一郎 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1. 一种Al-Ni-稀土类元素合金溅射靶，是包含Ni以及1种以上从由Nd、Y以及Dy构成的一组中选择的稀土类元素的Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上的化合物存在5.0×104个/mm2以上。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||