发明名称 用于从限定的环境去除污染的方法和装置
摘要 本发明的目的是提供一种用于从限定的环境去除污染的方法,所述限定的环境包括由壁部限制的内部空间,所述方法包括以下步骤:将具有泄漏部的限定环境放置在包括引入气体的装置和抽吸气体的装置的密封室中;包含在所述室中的气体以及包含在所述空间内的气体通过泄漏部被同时抽出,使得穿过壁部的压力差总是小于壁损坏阈值。本发明的另一目的是提供一种用于从限定的环境去除污染的装置,所述装置包括:能够包含限定环境的污染去除室;引入净化气体的装置;以可变抽吸量抽吸气体的装置;用于控制抽吸速率的装置;以及用于监测环境的内部和外部之间的压力差的装置。
申请公布号 CN101501817A 申请公布日期 2009.08.05
申请号 CN200780027099.2 申请日期 2007.05.24
申请人 阿尔卡特朗讯 发明人 阿诺德·菲福;伯特兰·贝莱;罗兰·伯纳德;泽维尔·莫泰斯
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 王新华
主权项 1. 一种用于对未密封的封闭环境(1)进行去污的方法,所述未密封的封闭环境包括由具有天然泄漏部(4)的壁部(3)划定界线的内部空间(2),所述方法包括以下步骤:-将具有天然泄漏部(4)的未密封的封闭环境(1)放置在密封的去污室(5)内,所述去污室包括用于引入气体的装置(6)以及用于抽出气体的装置(7,8);以及-通过调节去污室(5)内的压降抽出包含在去污室(5)内的气体,所述调节所采用的方式为使得未密封的封闭环境(1)的内部和外部之间的压力差总是小于将造成损坏未密封的封闭环境(1)的壁部(3)的机械翘曲的压力差。
地址 法国巴黎市
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