发明名称 |
采用激光感应冲击波的微流控器件的制造 |
摘要 |
公开一种用于制造微流控器件(10)的方法和装置,其中激光用于去除构成该器件的其中一层的所选部分。这部分层可在该层与构成该器件的其它层合并之前被去除,或该部分可在所述层已结合在一起之后去除。用于实现去除的激光束是至少两个激光束(3,4)的组合,其中一激光束(3)是连续激光束,形成要被去除的部分的热熔,另一激光束(4)是脉冲或以某种方式调制的激光束,用于周期性地感应去除这部分的冲击波。这些激光束采用相同的对齐系统的至少一部分(5,8,9)。 |
申请公布号 |
CN101500934A |
申请公布日期 |
2009.08.05 |
申请号 |
CN200780028897.7 |
申请日期 |
2007.06.07 |
申请人 |
迈克罗拉布诊断有限公司 |
发明人 |
迈卡·J·阿特金 |
分类号 |
B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B23K26/36(2006.01)I |
主分类号 |
B81B1/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
马高平 |
主权项 |
1. 一种用于制造多层器件的至少部分的方法,其中包括使用至少一个激光以在制造工序的过程中改变所述部分的至少一层。 |
地址 |
澳大利亚维多利亚 |