使用了质量流量控制装置的流量控制

摘要

一种质量流量控制器，在产品(质量流量控制器)出厂后，可对与多种实际使用气体和多个流量范围对应的质量流量控制器进行规格变更。在质量流量控制装置的初始状态下，采用校正气体来测量与流量设定信号相对的实际流量，由此求出校正气体特性数据，并将该校正气体特性数据存储在控制单元中。另一方面，按照多种实际气体来测量与流量设定信号相对的实际流量，由此求出实际气体特性数据，并将该实际气体特性数据保存在存储介质中，然后在质量流量控制装置运转前，从上述存储介质中读出实际使用气体的实际气体特性数据，另外，读出存储在上述控制单元中的校正气体特性数据。并且以上述实际气体特性数据为基础，将上述校正气体特性数据转换为控制流量补正数据，并将控制流量补正数据写入控制单元。根据该控制流量补正数据补正实际气体流量。

主权项

1. 一种方法，控制流过流路的气体的流量，该方法具有以下步骤：(a)准备流量控制装置的步骤，该流量控制装置根据流过流路的气体的质量流量的目标值即目标流量、和流过上述流路的气体的被检测出的质量流量即检测流量，来反馈控制流过上述流路的气体的流量；(b)根据流过上述流路的上述气体的种类来准备包含与互不相同的质量流量分别对应的多个控制参数的控制数据的步骤；以及(c)使用上述流量控制装置，参照上述控制数据，并且根据在上述多个控制参数中基于上述目标流量与上述检测流量的至少一方而决定的控制参数、上述目标流量和上述检测流量，来控制流过上述流路的气体的流量的步骤。