发明名称 |
在衬底表面上产生电功能层的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于在衬底(10)的表面上产生电功能层(19)的方法,在该衬底(10)上涂覆至少一个电子器件(15)、尤其是半导体芯片。如下来构成电功能层(19):由导电材料制成的以粉末状存在的粒子选择性地被吹到衬底(10)的表面上,以致这些粒子在撞击到衬底(10)上时构成紧密的和牢固粘附的层。 |
申请公布号 |
CN101501830A |
申请公布日期 |
2009.08.05 |
申请号 |
CN200780029833.9 |
申请日期 |
2007.07.31 |
申请人 |
西门子公司 |
发明人 |
K·韦德纳;R·温克;J·-C·霍尔斯特;J·D·詹森 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I;H05K3/14(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
胡莉莉;刘春元 |
主权项 |
1. 用于在衬底(10)的表面上产生电功能层(19)的方法,在该衬底(10)上涂覆至少一个电子器件(15)、尤其是半导体芯片,其中,如下来构成所述电功能层(19):以粉末状存在的由导电材料制成的粒子选择性地被吹到衬底(10)的表面上,以致所述粒子在撞击到衬底(10)上时构成紧密的和牢固粘附的层。 |
地址 |
德国慕尼黑 |