发明名称 在衬底表面上产生电功能层的方法
摘要 本发明涉及一种用于在衬底(10)的表面上产生电功能层(19)的方法,在该衬底(10)上涂覆至少一个电子器件(15)、尤其是半导体芯片。如下来构成电功能层(19):由导电材料制成的以粉末状存在的粒子选择性地被吹到衬底(10)的表面上,以致这些粒子在撞击到衬底(10)上时构成紧密的和牢固粘附的层。
申请公布号 CN101501830A 申请公布日期 2009.08.05
申请号 CN200780029833.9 申请日期 2007.07.31
申请人 西门子公司 发明人 K·韦德纳;R·温克;J·-C·霍尔斯特;J·D·詹森
分类号 H01L21/60(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I;H05K3/14(2006.01)I 主分类号 H01L21/60(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 胡莉莉;刘春元
主权项 1. 用于在衬底(10)的表面上产生电功能层(19)的方法,在该衬底(10)上涂覆至少一个电子器件(15)、尤其是半导体芯片,其中,如下来构成所述电功能层(19):以粉末状存在的由导电材料制成的粒子选择性地被吹到衬底(10)的表面上,以致所述粒子在撞击到衬底(10)上时构成紧密的和牢固粘附的层。
地址 德国慕尼黑