探测装置和检测方法

摘要

本发明提供一种探测装置和检测方法，即使在检测中接触位置和实际接触位置之间产生误差也能够自动地修正该误差确保良好的接触精度，从而进行可靠性高的检测。第三工作台(23)固定第三线性标尺(E3)的基准尺(E31)，并在第三工作台(23)的非可动部固定扫描头(E32)，通过计测性能不发生变化的第三线性标尺(E3)计测第三工作台(23)的可动部的位置。因此，能够检测第三工作台(23)的接触位置的位移，并能够根据位移量修正Z轴方向的接触位置。由此，即使在检测中因热膨胀等而在接触位置产生误差，也能够自动地修正该误差，从而能够确保探测器(32)与晶片W的电极垫的良好的接触精度，提高电气检测的可靠性。

主权项

1. 一种探测装置，在载置台上载置被检查基板、使探测卡的探测器与在该被检查基板上排列的被检查芯片的电极垫接触、进行所述被检查芯片的电气检测，所述探测装置的特征在于，包括：第一工作台，其沿X方向可自由移动地设置在底座上；第二工作台，其沿Y方向可自由移动地设置在该第一工作台上；第三工作台，其沿Z方向可自由移动地设置在该第二工作台上，并具有所述载置台；拍摄单元，其用于拍摄所述载置台上的被检查基板和所述探测器；Z位置计测单元，其用于测得所述载置台的Z方向的位置，并具有设置于所述第二工作台和第三工作台的一方并沿Z方向延伸的Z标尺、和设置于所述第二工作台和第三工作台的另一方并用于读取所述Z标尺的读取部；计算单元，其对于包括通过用于计测所述载置台的X方向和Y方向的各位置的单元测得的X方向和Y方向的各位置以及Z方向的位置的、在驱动系统的坐标上被管理的坐标位置，根据所述拍摄单元的拍摄结果，通过演算求得被处理基板的电极垫与探测器接触的计算上的接触位置；以及在所述被处理基板的电极垫与探针接触的状态下，当使用所述Z位置计测单元测得的所述载置台的Z方向的位置从已预先设定的计算上的接触位置变化时，根据该变化量修正下次接触时的接触位置的Z方向的位置的单元。