| 发明名称 | 包含等离子体测量装置的等离子体设备 | ||
| 摘要 | 一种制造半导体器件的等离子体设备，包含：一腔室，其具有反应区；一夹头，其位于反应区中；及一等离子体测量装置，置于夹头的上表面，其包含：一探测板，其上表面具有多个探测器；及一检测板，置于探测板之下，此检测板则具有对应于多个的探测器的多个检测板，并使多个检测板与多个探测器电连接。 | ||
| 申请公布号 | CN100524678C | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN03121195.X | 申请日期 | 2003.03.27 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 李政范 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H05H1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 韩 宏 |
| 主权项 | 1. 一种制造半导体器件的等离子体设备，包含：一具有一反应区的腔室；一位于该反应区中的夹头；及一位于所述夹头的一上表面的等离子体测量装置，所述的等离子体测量装置包含：一探测板，其上表面具有多个探测器；及一检测板，置于该探测板之下，所述的检测板具有对应于所述多个探测器的多个检测部，并使所属的多个的检测部与所属的多个探测器电连接。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||