利用微桥梁结构的超高频微机电谐振器、装置和方法

摘要

本发明描述了一种微机电(MEM)谐振器，包括衬底、耦合到所述衬底的微桥梁结构以及至少一个电极，所述电极邻近所述微桥梁结构被布置，以引起所述梁的振动。所述微桥梁结构包括支撑部分和形成在所述支撑部分之间的梁。所述梁的中心区域的质量小于邻近所述支撑部分的所述梁的区域的质量。

主权项

1. 一种微机电谐振器，包括：衬底；耦合到所述衬底的微桥梁结构，所述微桥梁结构包括支撑部分和形成在所述支撑部分之间的梁，其中，所述梁是所述微桥梁结构能够相对于所述衬底进行振动的部分，其中，所述梁的中心区域的质量小于所述梁邻近所述支撑部分的区域的质量，其中，所述梁的所述中心区域比邻近所述支撑部分的所述区域窄，其中所述梁的尺寸使得由所述微桥梁结构产生的谐振频率大于200MHz；和邻近所述微桥梁结构布置的至少一个电极，以引起所述梁的振动。