| 摘要 |
一种电性测试半导体晶圆的系统，该系统包括(a)至少一带电粒子束聚焦作用部件和(b)适于收集从晶圆散射之带电粒子的至少一检测器；其中该系统适于用离焦带电粒子束扫描样品的第一区域以便影响第一区域的充电，用聚焦带电粒子束扫描第一区域的至少一部分并检测从该至少一部分散射的电子。该系统在离焦带电粒子束仍然影响第一区域的同时，扫描该至少一部分。一种电性测试半导体晶圆的方法，该方法包括用离焦带电粒子束扫描样品的第一区域以便影响第一区域的充电；以及用聚焦带电粒子束扫描该第一区域的至少一部分同时检测从至少一部分散射的电子，在由离焦带电粒子束引起的充电仍然影响第一区域的同时，扫描该至少一部分。 |
