估计金属互连之电阻和电容之方法和装置

摘要

本发明描述用于估计金属互连之电阻及电容的技术。一装置可包括一互连、一组测试垫、一组隔离电路及一测试电路。该组测试垫可耦接至该互连并用于施加一通过该互连之电流及于此同时量测一跨越该互连之电压。该电流及该电压可用以估计该互连之电阻。该测试电路可对该互连进行充电及放电以估计该互连之电容。该等隔离电路可在该测试电路对该互连进行充电及放电时将该等测试垫与该互连隔离。该装置可进一步包括可以一镜面方式耦接的另一互连、另一组测试垫及另一组隔离电路。可准确地估计该两个互连之间的电阻及/或电容失配。