原料气体的供给系统及成膜装置

摘要

本发明系一种原料气体之供给系统及成膜装置，其中，原料气体之供给系统（6）乃对于做为减压环境之气体使用系统（2）供给原料。系统乃具备：储存液体原料或固体原料之原料槽（40），和于原料槽连接一端，于气体使用系统连接另一端之原料通路（46），和对于原料槽内，供给载气之载气供给机构（54），和介入设置于原料通路之途中的开关阀（48，50），和加热原料通路及开关阀之加热器（64），和控制加热器的温度控制部（92）。原料通路及开关阀乃使用具有良好的热传导性之金属材料而加以形成者。