脉冲序列退火法及其设备

摘要

本发明大致上描述用来在基材的期望区域上执行退火制程的设备和方法。在一个实施例中，利用闪光灯或雷射设备，将脉冲电磁能量供给到基材上。该些脉冲可以是从约1奈秒到约10毫秒长，并且每个脉冲具有比熔化基材材料需要的能量更小的能量。该些脉冲之间的间隔通常足够长，以允许由每个脉冲给予的能量完全消散。由此，每个脉冲实现一个微退火循环。该些脉冲可以被一次性供给到整个基材上，或者一次性供给到基材的一部分上。进一步实施例提供了一种用来供电辐射组件的设备，和用来检测基材上的脉冲的效果的设备。