| 摘要 |
一种模型的产生设备，此模型用以收集电浆处理系统之使用者所处理之基板的量测数据。此模型的产生设备包含：通用模型建立件，此通用模型建立件系用以至少产生该模型。该模型为一组输入数据与一组输出数据间的关系。此模型的产生设备亦包含：输入模组，此输入模型包含来自复数输入源之该组输入数据。此模型的产生设备包含：输入调整与确认模组，此输入调整与确认模组系用以至少判断该组输入数据的完整性。此模型的产生设备更包含：关联模组，此关联模组系用以至少产生一组数学关系式。此模型的产生设备更包含：输出调整及确认模组，此输出调整及确认模组系用以至少判断该组输出数据的完整性。 |
