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发明名称 Laserplasmalichtquelle und Verfahren zur Erzeugung von Strahlung unter Verwendung derselben
摘要
申请公布号 DE19983270(B4) 申请公布日期 2009.07.30
申请号 DE19991083270 申请日期 1999.03.31
申请人 JAPAN AS REPRESENTED BY DIRECTOR GENERAL OF AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 TOMIE, TOSHIHISA
分类号 H05G2/00;G21K5/02 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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