发明名称 ZENTRIFUGALSINTERSYSTEM
摘要
申请公布号 DE60328046(D1) 申请公布日期 2009.07.30
申请号 DE20036028046 申请日期 2003.12.25
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY;SINTO V-CERAX LTD. 发明人 WATARI, KOJI;KINEMUCHI, YOSHIAKI;UCHIMURA, SHOJI;ISHIGURO, HIROHIDE;MORIMITSU, HIDEKI
分类号 B22F3/06;C04B35/64;B22F3/00;C04B35/10;C04B35/48;C04B35/575;F27B17/00;H01L21/687 主分类号 B22F3/06
代理机构 代理人
主权项
地址