发明名称 Verfahren zum Herstellen von mehreren Halbleiter-Bauelementen
摘要 Ein Verfahren zum Herstellen mehrerer Halbleiter-Bauelemente. Eine elektrisch leitende Schicht wird auf einem Halbleiter-Wafer aufgebracht. Der Halbleiter-Wafer wird strukturiert, um mehrere Halbleiterchips herzustellen. Die elektrisch leitende Schicht wird strukturiert, um mehrere Halbleiter-Bauelemente herzustellen.
申请公布号 DE102008053645(A1) 申请公布日期 2009.07.30
申请号 DE20081053645 申请日期 2008.10.29
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 CHIANG, CHAU FATT;LAI, CHWEE LAN;SEE, BENG KEH
分类号 H01L21/98;H01L21/50 主分类号 H01L21/98
代理机构 代理人
主权项
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