| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
VAN HERPEN, MAARTEN MARINUS JOHANNES WILHELMUS;BANINE, VADIM YEVGENYEVICH;FRANKEN, JOHANNES CHRISTIAAN LEONARDUS;FRIJNS, OLAV WALDEMAR VLADIMIR;KLUNDER, DERK JAN WILFRED;DRIESSEN, NIELS MACHIEL;SOER, WOUTER ANTHON |
