有机预涂金属板上SiOx镀层的真空制备方法

摘要

本发明涉及一种有机预涂金属板上SiOx镀层的真空制备方法，包括以下步骤：第一步：进入等离子环境中进行表面清洗和表面活化；第二步：通过真空密封装置，进入真空镀膜单元，在有机涂层上进行SiOx镀膜。在上述两步骤的基础上还可以包括以下步骤：第三步：进入后处理单元，使用等离子发生器，使氧气等离子化，前面步骤形成的薄膜最表层向SiO₂转化，并趋于稳态；第四步：通过氮气或惰性气体环境，形成稳定的SiOx表面产品。本发明提供的制备方法提高了有机涂层的耐磨、耐划痕(耐擦伤)性能，工艺环保无污染，同时薄膜的相关参数可根据需要灵活、准确调节。

主权项

1. 一种有机预涂金属板上SiOx镀层的真空制备方法，其特征在于包括以下步骤：第一步：进入等离子环境中进行表面清洗和表面活化；第二步：通过真空密封装置，进入真空镀膜单元，在有机涂层上进行SiOx镀膜，镀膜单元分为三到四个子镀膜单元，其中每个单元保持不同的气体组成，每个子系统生成的薄膜的性质可以逐渐发生变化，在基板通过时形成梯度薄膜，x的取值范围是0.1—2。