发明名称 Electron beam apparatus having electron energy analyzer and method of controlling lenses
摘要
申请公布号 EP1441382(A3) 申请公布日期 2009.07.29
申请号 EP20040250358 申请日期 2004.01.23
申请人 JEOL LTD. 发明人 KANEYAMA, TOSHIKATSU
分类号 H01J37/26;H01J37/05;H01J37/24;H01J37/244 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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