| 发明名称 | 热式流量传感器 | ||
| 摘要 | 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。 | ||
| 申请公布号 | CN101493349A | 申请公布日期 | 2009.07.29 |
| 申请号 | CN200910007991.5 | 申请日期 | 2007.01.16 |
| 申请人 | 株式会社日立制作所 | 发明人 | 中野洋;山田雅通;松本昌大;渡边泉 |
| 分类号 | G01F1/698(2006.01)I;G01F1/692(2006.01)I;G01F1/684(2006.01)I | 主分类号 | G01F1/698(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1、一种热式流量传感器，包括：传感器元件单元，包含桥电路，该桥电路内包含平衡调整用电阻，并且在半导体基板上连线；驱动电路单元，将所述平衡调整用电阻的两端电压取出到所述半导体基板的外部，在所述两端电压的范围内进行所述桥电路的平衡调整。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||