用于检查具有图样的平的介质的方法和装置

摘要

本发明公开了一种并发低分辨率/高分辨率平行扫描系统和方法以作为对检查系统的扫描过程的改进，所述检查系统用于平的物体，如在平板显示器中使用的大平板，由此使低分辨率缺陷检测阶段有效地与其中缺陷被自动定义和解决的高分辨率缺陷复查和分类阶段重叠和并行。虽然本发明对于光学检查平物体表面的缺陷的更一般的问题来说是有效的解决方案，但是本发明对检测在为形成LCD平面板显示器的淀积有集成电路的大玻璃板上的图样缺陷特别有用。

主权项

1. 一种检查具有图样的平的介质的方法，包括：利用相对较低分辨率的成像及定位协议，通过成像设备检测具有图样的平的介质的缺陷；同时并发地利用基于相对较高分辨率的成像及定位协议执行成像，以对由上述检测步骤指出的缺陷进行复查。