基板分断系统、基板制造装置

摘要

为了夹紧送入中空长方体状的架台(10)内的母基板的至少一个部位而在架台(10)上安装有夹紧装置(50)，从由夹紧装置(50)夹紧的母基板的上表面和下表面分断各自的母基板的一对基板分断装置设置在切割装置导向架(30)上，切割装置导向架(30)可沿着中空长方体的架台的一个边往返移动，安装成一对基板分断装置可沿着与其移动方向正交的方向移动。被夹紧装置夹紧的母基板由基板支承装置(20)支承。

主权项

1. 一种基板分断系统，其特征是，包括：中空长方体状的架台；安装在该架台上的夹紧装置，夹紧送入该架台内的基板的侧缘部的至少一个部位；一对切割装置，备有可分别往返移动的划痕线形成组件，分别从由该夹紧装置夹紧的该基板的上表面一侧和下表面一侧对该基板进行切割；切割装置导向架，支承该切割装置，可沿着该中空长方体状的架台的一个边往返移动，安装成可沿着与该划痕线形成组件的移动方向正交的方向移动；设置在该切割装置导向架的移动方向一侧的用于基板支承的第1基板支承部；设置在该切割装置导向架的移动方向另一侧的用于基板支承的第2基板支承部；多个第1基板支承单元，设置在该第1基板支承部上，沿着该切割装置导向架的移动方向移动；多个第2基板支承单元，设置在该第2基板支承部上，沿着该切割装置导向架的移动方向移动；该多个第1基板支承单元和该多个第2基板支承单元中的至少一个的多个基板支承单元的每一个以随着该切割装置导向架向一侧移动而相互离开的方式移动，并且以随着该切割装置导向架向另一侧移动而相互接近的方式移动。