| 摘要 |
1. Способ изготовления слоя бесцветного монокристаллического ХОПФ-алмаза (полученного химическим осаждением из паровой фазы), включающий: ! i) подготовку подложки, ! ii) использование атмосферы ХОПФ-синтеза, в которой имеется первый газ, содержащий примесные атомы первого типа, оказывающие негативное влияние на цвет изготавливаемого слоя алмаза, и ! iii) добавление в атмосферу синтеза второго газа, содержащего примесные атомы второго типа, ! причем примесные атомы первого и второго типов различны, а тип и количество примесных атомов второго типа выбирают с обеспечением уменьшения негативного влияния на цвет, оказываемое примесными атомами первого типа, для изготовления бесцветного слоя алмаза, и при этом примесные атомы первого и второго типа являются, независимо друг от друга, азотом или атомами, в чистом виде образующими твердое вещество. ! 2. Способ по п.1, в котором примесным атомом первого типа является азот, а примесный атом второго типа выбирают из кремния, бора, фосфора или серы. ! 3. Способ по п.2, в котором примесным атомом второго типа является кремний. ! 4. Способ по п.2, в котором примесным атомом второго типа является бор. ! 5. Способ по п.1, в котором примесным атомом первого типа является кремний, бор, фосфор или сера, а примесным атомом второго типа является азот. ! 6. Способ по п.5, в котором примесным атомом первого типа является кремний. ! 7. Способ по п.5, в котором примесным атомом первого типа является бор. ! 8. Способ по п.3 или 6, в котором концентрация азота в доминирующем объеме слоя алмаза меньше или равна 2·1017 атомов/см3, а концентрация кремния в доминирующем объеме слоя алмаза меньше или равна 2·1018 атомов/см3. ! 9. Спо |
