蚀刻液

摘要

本发明系提供一种蚀刻液，其可抑制镍以外的金属（特别是铜）的侵蚀。于含有硝酸或硫酸、以及过氧化氢、以及水之镍蚀刻液当中，含有具有选自从下述式(Ⅰ)、下述式(Ⅱ)及下述式(Ⅲ)中之至少1种之重复单位的聚合物。#P 097144320P01.bmp(其中，R#sB!1#eB!~R#sB!5#eB!为氢、胺基、亚胺基、氰基、偶氮基、硫基、磺酸基、羟基、羰基、羧基、硝基、烷基、环烷基、芳香基或苯甲基，可为相同或相异，又，该重复单位内所包含之胺亦可为第四级铵盐的形态)。