移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及装置、曝光方法及装置、以及元件制造方法

摘要

使用包含X编码器与Y编码器中至少各1个之3个编码器，测量载台(WST)于移动面内之位置资讯。根据载台(WST)之位置测量值，将用于位置测量之编码器，从编码器(Enc1、Enc2及Enc3)切换为编码器(Enc4、Enc2及Enc3)。于切换时，适用座标连接法法或相位连接法来设定新使用之编码器(Enc4)之初期值。据此，即使依序切换用于载台(WST)位置测量之编码器，亦能在切换前后保存载台之位置测量值，正确地2维驱动载台。