| 发明名称 |
ION SOURCES, SYSTEMS AND METHODS |
| 摘要 |
Ion sources, systems and methods are disclosed.
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| 申请公布号 |
US2009179161(A1) |
申请公布日期 |
2009.07.16 |
| 申请号 |
US20090364259 |
申请日期 |
2009.02.02 |
| 申请人 |
ALIS CORPORATION |
发明人 |
WARD BILLY W.;NOTTE, IV JOHN A.;FARKAS, III LOUIS S.;PERCIVAL RANDAL G.;HILL RAYMOND;EDINGER KLAUS;MARKWORT LARS;ADERHOLD DIRK;MANTZ ULRICH |
| 分类号 |
H01J37/08;H01J27/00 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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