电浆处理方法及电浆处理装置

摘要

利用电负性气体进行电浆处理时，藉由控制电浆中的离子密度，可使电浆处理的面内均匀性比以往更为提升。在处理室（102）内，将电负性气体的处理气体从处理气体源（170）导入，并且将电子附着系数比该处理气体大的电负性气体作为添加气体从添加气体源（180）导入而形成电浆，此时，藉由调整添加气体相对于处理气体的流量可控制电浆中的离子密度。